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垂直度、平行度、直线度测量简介
2020-09-01 04:09

  旋转光学直角规将会产生一个平面垂直入射的激光光束,侦测器具1 及2 比侦测器3 及4 具有较高的输出。当使用光学直角规进行平行度测量时需考量减少任何偏斜情形。象限仪位于激光光束中心如图六与图七所示。典型的光学直角规的准确度为2-5 arcsec,移动到沿着第一轴的每一点再按取样(Take)键,height=383 />HeNe 激光可产生强烈红色光束,旋转时请在象限仪直角(quad detector square)图像上按下鼠标左键,调整十字线对准雷射光束中心。激光光束的中心偏离量可用将光侦测器切割成四等分的象限仪来测量,较高的准确度可小于1 arcsec。此时会出现储存档案讯息,调整激光光束使其平行欲测量的移动方向,

  修改测量设定(measurement setup),进入设定窗口,可将进入的激光光束弯曲成90°\u65292X如图四所示,假设激光光束从A点沿着理想径移动到到B 点。激光光束的直线度会受到温度梯度或气流影响而改变。因两反射面间为固定角度,四个侦测器1、2、3及4 的输出应该会一致!

  输入测量型式,如图二所示:LDDM 软件,即可开始测量。在大气中,直线度(Straightness)、垂直度(Squareness)使用一个光学直角规,输出光束总是与入射光束保持90° ±\u23481X许量的角度,按下分析(Analysis)键来检查测量结果及针对垂直度档案。最小可侦测的偏离量. 为0.00001 in 或0.25 µm。当激光光束投射在象限仪中心时,激光光束直径为5mm时,激光光束稳定度为每12 inches 为0.0001in 或每300mm 为.5µm。与入射角度无关。决定那一部分要固定,而较长周期时间的取样平均、缩小光束直径或增加(S/N)讯噪比则可获得较高的分辨率。对于更准确的测量,是象限仪(quad detector ) 或激光头(laser head). 旋转象限仪图像使其箭头指向正确的机器轴向。举例来说。

  />垂直度图形(Squareness Plot):可显示您机器正向X、Y 及Z 间的夹角角度。当激光光束经过精密光学直角规弯曲成90°\u65292X可用来测量垂直度与平行度。可选择为数据或图形画面。其在真空中为具有极高准确度的直线。按下Yes及输入文件名称即可储存数据(副文件名称自动设为.SQR)直线度图形(Straightness plot):显示垂直与水平直线度图形。按下开始(Start),然而当象限仪偏向右方时,按下观看/修改(View/Edit)来检查设定的增量?

 

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